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Surface acoustic wave temperature sensor based on Pt/AlN/4 H-SiC structure for high-temperature environments

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作者

Zuodong Yang,Fang Wang,Weican Nie,Han Xu,Xiaowei Guo,Xin Shan,Xin Lin,Hongyu Dun,Zheng Sun,Yangyang Xie,Kailiang Zhang

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2023-05-03 卷期号：357: 114379-114379 被引量：21

标识

DOI：10.1016/j.sna.2023.114379

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