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Improving EUV sub-40nm via single patterning using wavefront and pupil co-optimization
极紫外光刻
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作者
Soojung Kim,
No Young Chung,
Kwangseok Maeng,
Hyun-Jae Cho,
Jerry Lim,
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Jae Hyoung Kim,
Insung Kim,
Eelco van Setten,
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Steven V. Beekmans,
Jung‐Tae Lee,
Kiseok Kim,
James Lee,
Sung-Woon Park,
Jialei Tang,
Stephen D. H. Hsu,
Youping Zhang,
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标识
DOI：10.1117/12.3009878
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