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Enhancing Ferroelectric Performance of Al 0.7 Sc 0.3 N Capacitors through Substrate Engineering

材料科学铁电性电容器基质（水族馆）光电子学复合材料铁电电容器电介质电容电子工程压电电气工程铁电陶瓷层压

作者

Yuan Fang,Haoji Qian,Xiaoxi Li,J J Li,Cizhe Fang,Xiangyu Zeng,Tao Wu,Chengji Jin,Jiajia Chen,Yi’an Ding,Y Liu,Genquan Han

出处

期刊：日期：2026-03-01 卷期号：: 1-3

标识

DOI：10.1109/edtm65772.2026.11497118

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