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Thermal conductivity of thin SiO2 films

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作者
F. R. Brotzen,Peter J. Loos,D.P. Brady
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1992-01-01 卷期号：207 (1-2): 197-201 被引量：91
标识
DOI：10.1016/0040-6090(92)90123-s
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