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Etching, smoothing, and deposition with gas-cluster ion beam technology

氩材料科学原子物理学星团（航天器）离子束薄膜离子束沉积离子溅射分析化学（期刊）纳米技术化学物理色谱法程序设计语言有机化学计算机科学

作者

James A. Greer,D. B. Fenner,J. Hautala,L.P. Allen,Vincent DiFilippo,Noriaki Toyoda,Isao Yamada,Jiro Matsuo,Eiji Minami,H. Katsumata

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2000-11-01 卷期号：133-134: 273-282 被引量：19

标识

DOI：10.1016/s0257-8972(00)00876-8

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