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In situ study of stress evolution during the reaction of a nickel film with a silicon substrate

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作者
Christian Rivero,P. Gergaud,Ο. Thomas,B. Froment,H. Jaouen
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2004-08-10 卷期号：76 (1-4): 318-323 被引量：21
标识
DOI：10.1016/j.mee.2004.07.032
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