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Periodically Grounded Trench Bottom Shielding in SiC Trench MOSFET for Enhanced Single-Event Gate Oxide Damage Hardness

材料科学沟槽 MOSFET 光电子学栅氧化层电磁屏蔽碳化硅氧化物浅沟隔离电气工程功率MOSFET 金属浇口宽禁带半导体电子工程逻辑门压力（语言学）随时间变化的栅氧化层击穿

作者

Xing Zeng,Xiaochuan Deng,Xuke Yan,Zhijie Cheng,Jun Yuan,Xuan Li,Bo Zhang

出处

期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2026-01-01 卷期号：: 1-7

标识

DOI：10.1109/ted.2026.3705016

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