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Water vapor and hydrogen gas diffusion barrier characteristics of Al2O3–alucone multi-layer structures for flexible OLED display applications

材料科学 原子层沉积 有机发光二极管 扩散阻挡层 无定形固体 阻挡层 氢 氧化物 图层（电子） 化学工程 光电子学 分析化学（期刊） 纳米技术 化学 冶金 有机化学 工程类
作者
Ju-Hwan Han,Tae‐Yeon Kim,Dong-Yeon Kim,Hae Lin Yang,Jin‐Seong Park
出处
期刊：Dalton Transactions [Royal Society of Chemistry]
日期：2021-01-01 卷期号：50 (43): 15841-15848 被引量：16
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d1dt02989d
摘要
Al 2 O 3 /Alucone multi-layer films fabricated by alternate ALD/MLD process were evaluated for the gas diffusion barrier property for H 2 O and H 2 , indicating enhanced tortuosity and flexibility of multi-layer structure.
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