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Constructing a correlation between ferroelectricity and grain sizes in Hf0.5Zr0.5O2 ferroelectric thin films

铁电性 退火（玻璃） 材料科学 粒度 薄膜 凝聚态物理 结晶学 矿物学 光电子学 纳米技术 化学 复合材料 电介质 物理
作者
Haiyan Chen,Hang Luo,Xi Yuan,Dou Zhang
出处
期刊：CrystEngComm [Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01 卷期号：24 (9): 1731-1737 被引量：25
标识
DOI：10.1039/d1ce01626a
摘要
A correlation between ferroelectricity and grain sizes was constructed through controlling process conditions including annealing conditions and film thickness.
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