多晶硅
蚀刻(微加工)
材料科学
微晶
硅
喷射(流体)
水射流
激光器
光电子学
复合材料
光学
冶金
工程类
机械工程
机械
物理
喷嘴
薄膜晶体管
图层(电子)
作者
Xuehui Chen,Xiang Li,Wei Song,Chao Wu,Yao Zhang
出处
期刊:Applied Physics A
[Springer Science+Business Media]
日期:2018-07-20
卷期号:124 (8)
被引量:13
标识
DOI:10.1007/s00339-018-1987-5
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI