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物理气相沉积
作者
Daniel C. Goodelman,
A. M. Engwall,
G. V. Taylor,
Brandon Bocklund,
D. J. Strozzi,
S. J. Shin,
E. Kim,
Neha Vishnoi,
S. O. Kucheyev,
L. B. Bayu Aji
出处
期刊：
Fusion Science and Technology
[Taylor & Francis]
日期：2025-10-17
卷期号：: 1-11
标识
DOI：10.1080/15361055.2025.2545591
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