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Epitaxial growth of InN-rich (ZnO) (InN)1- films on sapphire substrates by magnetron sputtering using 3D island buffer layers

外延 蓝宝石 缓冲器（光纤） 材料科学 光电子学 溅射 溅射沉积 图层（电子） 薄膜 纳米技术 光学 计算机科学 物理 电信 激光器
作者
Seiichi Hata,Ryota Narishige,Satoshi Kumamoto,Takafumi Yunoue,Naoto Yamashita,Takamasa Okumura,Kunihiro Kamataki,Kazunori Koga,Masaharu Shiratani,Naho Itagaki
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2025-06-05 卷期号：512: 132374-132374 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2025.132374
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