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作者
Andreas Erdmann,
Hazem Mesilhy,
Peter Evanschitzky,
Gerardo Bottiglieri,
Tim Brunner,
Eelco van Setten,
M.-Claire van Lare,
Mark van de Kerkhof
出处
期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
[SPIE - International Society for Optical Engineering]
日期：2024-10-08
卷期号：24 (01)
被引量：1
链接
spiedigitallibrary.org
doi.org
标识
DOI：10.1117/1.jmm.24.1.011002
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