Adaptive processing strategy of pulse ion beam for sub-nanometer precision optical components

计算机械加工离子束材料科学梁（结构）占空比光学聚焦离子束离子工程类物理量子力学电气工程电压冶金

作者

Lingbo Xie,Ye Tian,Feng Shi,Shuangpeng Guo,Gang Zhou

出处

期刊：Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
日期：2024-02-17 卷期号：327: 118341-118341 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.jmatprotec.2024.118341

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