Interferometer for measuring displacement and distance

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作者
Toshihiro Kubota,Makoto Nara,Toshihiko Yoshino
出处
期刊:Optics Letters [Optica Publishing Group]
卷期号:12 (5): 310-310 被引量:89
标识
DOI:10.1364/ol.12.000310
摘要

A simple interferometer for measuring both relative displacement and absolute distance is fabricated that uses a laser diode. The sign of the displacement is detected by means of a lambda/8 plate, and the distance is measured by a FM radar technique of modulating the laser-diode frequency. Measurement accuracies of 0.02 microm for displacement and 100 microm for distance are obtained over a range of a few meters.
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