Comparison of surface and subsurface damage of mosaic single-crystal diamond substrate processed by mechanical and plasma-assisted polishing

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作者
Nian Liu,Hideaki Yamada,Naoya Yoshitaka,Kentaro Sugimoto,Rongyan Sun,Kentaro Kawai,Kenta Arima,Kazuya Yamamura
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:119: 108555-108555 被引量:29
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2021.108555
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