Fine purification of silane for removal of chlorosilanes by membrane gas separation

三氯氢硅 硅烷 二氯硅烷 化学 膜技术 杂质 气体分离 色谱法 分离过程 化学工程 分析化学(期刊) 材料科学 有机化学 工程类 生物化学
作者
В. М. Воротынцев,П. Н. Дроздов,И. В. Воротынцев,С. Н. Манохина,S. S. Knysh
出处
期刊:Petroleum Chemistry [Pleiades Publishing]
卷期号:53 (8): 627-631 被引量:16
标识
DOI:10.1134/s0965544113080161
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