化学气相沉积
薄膜
材料科学
电阻率和电导率
制作
钼
沉积(地质)
电极
化学工程
动态随机存取存储器
光电子学
矿物学
纳米技术
冶金
化学
半导体存储器
电气工程
物理化学
沉积物
替代医学
古生物学
医学
病理
工程类
生物
作者
Yuya Matamura,Takumi Ikenoue,Masao Miyake,Tetsuji Hirato
标识
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2020.125862
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI