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作者
Xu Tian,
Theocharis Nikiforos Iordanidis,
Göran Stemme,
Niclas Roxhed
出处
期刊：
Journal of microelectromechanical systems
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-07-12
卷期号：33 (5): 524-531
标识
DOI：10.1109/jmems.2024.3418580
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