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High-efficiency modification mechanism of GaN(0001) in plasma-assisted polishing using hydrogen plasma

等离子体 抛光 材料科学 机制（生物学） 氢 表面改性 冶金 化学工程 化学 工程类 物理 有机化学 量子力学
作者
Tao Tong,Rongyan Sun,Yuji Ohkubo,Kazuya Yamamura
出处
期刊：CIRP Annals [Elsevier BV]
日期：2025-01-01 卷期号：74 (1): 447-451 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.cirp.2025.03.045
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