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Improving the thermal stability of polycrystalline silicon passivated contacts using aluminium doped zinc oxide interlayers

材料科学铝锌多晶硅硅兴奋剂热稳定性微晶氧化铝冶金热的复合材料光电子学化学工程图层（电子）物理气象学工程类薄膜晶体管

作者

Di Yan,Yida Pan,J. Michel,Sieu Pheng Phang,Rabin Basnet,Heping Shen,Jie Yang,Xinyu Zhang,Peiting Zheng,James Bullock

标识

DOI：10.1109/pvsc59419.2025.11132433

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