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Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials

化学机械平面化 半导体 材料科学 半导体工业 纳米技术 光电子学 工程类 图层（电子） 制造工程
作者
Michael R. Oliver
出处
期刊：Springer series in materials science 日期：2004-01-01 被引量：260
标识
DOI：10.1007/978-3-662-06234-0
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