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Properties of ultra-thin Cu films grown by high power pulsed magnetron sputtering

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作者
А.А. Solovyev,V. A. Semenov,В.О. Оскирко,К. В. Оскомов,А. Н. Захаров,С. В. Работкин
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2017-04-08 卷期号：631: 72-79 被引量：26
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2017.04.005
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