Synthesis of Zn-doped colloidal SiO2 abrasives and their applications in sapphire chemical mechanical polishing slurry

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作者
Hong Lei,Liqin Huang,Qian Gu
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
卷期号:28 (2): 1229-1237 被引量:15
标识
DOI:10.1007/s10854-016-5650-7
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