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Surface and Electrical Properties of Inductively-coupledPlasma-etched N-face n-GaN and a Method of Reducing the OhmicContact Resistance of Plasma-damaged N-face n-GaN
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作者
Tak Jeong,
Hyun Haeng Lee,
KangHo Kim,
Seong‐Ran Jeon,
Seung-Jae Lee,
SangHern Lee,
Jong‐Hyeob Baek,
June Key Lee
出处
期刊:
Journal of the Korean Physical Society
[Springer Science+Business Media]
日期:2009-09-15
卷期号:55 (3(1)): 1140-1144
被引量:1
标识
DOI:10.3938/jkps.55.1140
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