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Surface and Electrical Properties of Inductively-coupledPlasma-etched N-face n-GaN and a Method of Reducing the OhmicContact Resistance of Plasma-damaged N-face n-GaN
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感应耦合等离子体
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面子（社会学概念）
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社会科学
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社会学
作者
Tak Jeong,
Hyun Haeng Lee,
KangHo Kim,
Seong‐Ran Jeon,
Seung-Jae Lee,
SangHern Lee,
Jong‐Hyeob Baek,
June Key Lee
出处
期刊：
Journal of the Korean Physical Society
[Springer Science+Business Media]
日期：2009-09-15
卷期号：55 (3(1)): 1140-1144
被引量：1
标识
DOI：10.3938/jkps.55.1140
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