A simulation study for defects in sub-15 nm line-space using directed self-assembly

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作者
Hideki Kanai,Katsuyoshi Kodera,Yuriko Seino,Hirotaka Sato,Yusuke Kasahara,Katsutoshi Kobayashi,Ken Miyagi,Shinya Minegishi,Naoko Kihara,Yoshiaki Kawamonzen,Tomoharu Fujiwara,Noriyuki Hirayanagi,Toshikatsu Tobana,Tsukasa Azuma
出处
期刊:MRS Proceedings [Springer Nature]
卷期号:1750 被引量:5
标识
DOI:10.1557/opl.2015.361
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