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Improved transistor stability against hydrogen by fluorine doping in indium-gallium-zinc-oxide front and back channels
作者
Changjun No,
Chang-Yun Na,
Sungmin Cho
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2025-10-16
卷期号：202: 110147-110147
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.110147
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