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Mechanism and Effect of 4-Level RF Pulsing on Etching Process in Advanced Node

蚀刻（微加工）节点（物理）过程（计算）机制（生物学）计算机科学光电子学无线电频率材料科学纳米技术工程类物理操作系统电信结构工程图层（电子）量子力学

作者

Yang Ding,Ze He,Lei Ye,Wei Xiao,Minxiang Wang,Shaozhong Cao,Yuping Ren

标识

DOI：10.1109/cstic64481.2025.11017974

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