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Effect of deposition rate on anti-reflection and wettability properties of RF magnetron sputtering SiCON thin film

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作者
Abbas Ali Aghaei,Akbar Eshaghi,Mazaher Ramazani,Hossein Zabolian,Marzieh Abbasi-Firouzjah
出处
期刊：Optical and Quantum Electronics [Springer Nature]
日期：2024-04-17 卷期号：56 (6) 被引量：2
标识
DOI：10.1007/s11082-024-06709-9
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