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电镀 硅 材料科学 化学气相沉积 物理气相沉积 沉积（地质） 光电子学 纵横比（航空） 纳米技术 薄膜 图层（电子） 沉积物 生物 古生物学
作者
Manyu Wang,Ké Li,Shuchao Bao,Zhongliang Liu,Yunting Zhu,Jiahui Wang,Qiangfei Xia,S. M. Wu,Daquan Yu
标识
DOI：10.1109/icept59018.2023.10492061
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