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Achromatic Talbot lithography with partially coherent extreme ultraviolet radiation: mask and illumination parameter optimization

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作者

Bernhard Lüttgenau,Sascha Brose,Serhiy Danylyuk,Jochen Stollenwerk,Carlo Holly

出处

期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology [SPIE - International Society for Optical Engineering]
日期：2024-12-18 卷期号：23 (04)

标识

DOI：10.1117/1.jmm.23.4.043002

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