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From ghost to state-of-the-art process corrections – PEC enabled e-beam nanofabrication

纳米光刻过程（计算）梁（结构）国家（计算机科学）纳米技术物理材料科学计算机科学光学制作医学替代医学病理算法操作系统

作者

Ulrich Hofmann,Nezih Ünal,Jan Klikovits

出处

期刊：Micro and nano engineering [Elsevier BV]
日期：2024-09-11 卷期号：25: 100286-100286

链接

标识

DOI：10.1016/j.mne.2024.100286

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