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Al/F codoping effect on the structural, electrical, and optical properties of ZnO films grown via atomic layer deposition

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作者

Kyung-Mun Kang,Yue Wang,Minjae Kim,Chan Lee,Hyung‐Ho Park

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2020-09-02 卷期号：535: 147734-147734 被引量：34

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2020.147734

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