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作者
Jessica DeGroote. Nelson,Brandon Light,Daniel E. Savage,Robert Wiederhold,Michael Mandina
出处
期刊：
日期：2010-01-01
卷期号：: OWE2-OWE2
被引量：12
标识
DOI：10.1364/oft.2010.owe2
摘要
The VIBE™ process is a full-aperture, conformal polishing process incorporating high frequency and random motion designed to rapidly remove sub-surface damage in a VIBE pre-polish step and eliminate mid-spatial frequency (MSF) errors in a VIBE finishing step.
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