Ion cutting of amorphous metals by using helium ion implantation

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作者
Tianyao Wang,Hyosim Kim,Jonathan Gigax,Jianyuan Fan,K.L. Peddicord,Engang Fu,Arezoo Zare,D.A. Lucca,Lin Shao
出处
期刊:Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier]
卷期号:451: 1-5 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.nimb.2019.04.014

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