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Control of Electron Density and Temperature with a Modified Capacitive Discharge
作者
S. J. You,
K. H. Bai,
S. H. Chae,
H. Y. Chang
出处
期刊:
Plasma Chemistry and Plasma Processing
[Springer Science+Business Media]
日期:2005-04-06
卷期号:25 (3): 245-254
被引量:3
标识
DOI:10.1007/s11090-004-3038-6
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