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Abrasive Effects in Oxide Chemical Mechanical Polishing
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作者
Uday Mahajan,
M. Bielmann,
Rajiv K. Singh
出处
期刊：
MRS Proceedings
[Cambridge University Press]
日期：1999-01-01
卷期号：566
被引量：34
标识
DOI：10.1557/proc-566-27
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