Low-Voltage Zinc-Oxide Thin-Film Transistors on a Conventional SiO2 Gate Insulator Grown by Radio-Frequency Magnetron Sputtering at Room Temperature

材料科学 光电子学 薄膜晶体管 溅射沉积 晶体管 绝缘体(电) 薄膜 溅射 锌 腔磁控管 电压 电气工程 纳米技术 冶金 图层(电子) 工程类
作者
Hoonha Jeon,Kyoungseok Noh,Do‐Hyun Kim,Minhyon Jeon,Ved Prakash Verma,Wonbong Choi,Dongjo Kim,Jooho Moon
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
卷期号:51 (6): 1999-1999 被引量:9
标识
DOI:10.3938/jkps.51.1999

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