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Low-Voltage Zinc-Oxide Thin-Film Transistors on a Conventional SiO2 Gate Insulator Grown by Radio-Frequency Magnetron Sputtering at Room Temperature

材料科学 光电子学 薄膜晶体管 溅射沉积 晶体管 绝缘体(电) 薄膜 溅射 腔磁控管 电压 电气工程 纳米技术 冶金 图层(电子) 工程类
作者
Hoonha Jeon,Kyoungseok Noh,Do‐Hyun Kim,Minhyon Jeon,Ved Prakash Verma,Wonbong Choi,Dongjo Kim,Jooho Moon
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
卷期号:51 (6): 1999-1999 被引量:9
标识
DOI:10.3938/jkps.51.1999

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