Improved mold fabrication for the definition of high quality nanopatterns by Soft UV-Nanoimprint lithography using diluted PDMS material

作者
Namil Koo,Markus Bender,Ulrich Plachetka,Andreas Fuchs,T. Wahlbrink,Jens Bolten,H. Kurz
出处
期刊:Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
卷期号:84 (5-8): 904-908 被引量:102
标识
DOI:10.1016/j.mee.2007.01.017

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
虎虎生威发布了新的文献求助10
1秒前
Mr.egg完成签到,获得积分10
1秒前
希淇发布了新的文献求助10
2秒前
紫烨完成签到,获得积分10
2秒前
李爱国的应助被如意的冰双采纳,获得10
2秒前
3秒前
dzz发布了新的文献求助10
3秒前
小泽66689完成签到,获得积分10
4秒前
牧青发布了新的文献求助150
4秒前
sunshine发布了新的文献求助10
4秒前
若枫发布了新的文献求助10
5秒前
wanglx发布了新的文献求助10
5秒前
贝木木完成签到,获得积分10
5秒前
三木完成签到,获得积分10
6秒前
研友_VZG7GZ的应助被mmccc1采纳,获得10
6秒前
木_Q完成签到,获得积分10
6秒前
黄瓜子拌高粱醋完成签到 ,获得积分10
6秒前
东方完成签到,获得积分10
7秒前
安心欢愉完成签到,获得积分10
8秒前
小泽66689发布了新的文献求助10
9秒前
岳无涯完成签到 ,获得积分10
9秒前
10秒前
aajhajkahna的应助被Abstract采纳,获得10
10秒前
10秒前
11秒前
11秒前
12秒前
加把劲骑士完成签到,获得积分10
12秒前
orixero的应助被舒适夏真采纳,获得10
14秒前
14秒前
倒霉孩子发布了新的文献求助10
15秒前
15秒前
16秒前
田様的应助被HWx采纳,获得10
16秒前
虎虎生威完成签到,获得积分10
17秒前
lcc发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
希望天下0贩的0的应助被LiWanyi采纳,获得10
18秒前
Bosean完成签到,获得积分10
19秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Rosenblum, Global Change Biology 800
自動車の空力技術 800
Organizational Behavior 510
Management and the Arts 510
Geschichtliche Grundbegriffe (GGB), Band 5: Pro–Soz 300
Die Religion in Geschichte und Gegenwart (RGG), 4. Auflage, Band 7: R–S 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 化学工程 工程类 有机化学 物理 复合材料 生物化学 内科学 细胞生物学 基因 遗传学 免疫学 冶金 光电子学 癌症研究
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7789922
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9327473
关于积分的说明 20418530
捐赠科研通 7379351
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3322938
关于科研通互助平台的介绍 2470856
邀请新用户注册赠送积分活动 2339796