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Support Vector Machine을 이용한 Reactive Ion Etching의 Run-to-Run 오류검출 및 분석
作者
박영국,
홍상진,
한승수
出处
期刊：
Han-gukjeongbotongsinhakoenonmunji
[The Korean Institute of Information and Communication Sciences]
日期：2006-05-01
卷期号：10 (5): 962-969
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