SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Low temperature deposition of α-Al2O3 thin films by sputtering using a Cr2O3 template
溅射
材料科学
沉积（地质）
薄膜
化学工程
纳米技术
矿物学
化学
地质学
沉积物
工程类
古生物学
作者
Ping Jin,
Gaohong Xu,
Masato Tazawa,
Kazuyoshi Yoshimura,
D. Music,
Jones Alami,
Ulf Helmersson
出处
期刊：Journal of vacuum science & technology
[American Institute of Physics]
日期：2002-11-01
卷期号：20 (6): 2134-2136
被引量：109
链接
aip.org
doi.org
标识
DOI：10.1116/1.1513641
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Jasper
的
应助
被
lisheng
采纳，获得
10
刚刚
汐云月沙
发布了新的
文献求助
20
1秒前
liss
完成签到
，获得积分
10
1秒前
光亮发卡
完成签到，获得积分
10
2秒前
隐形曼青
上传了
应助文件
2秒前
十二
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
共享精神
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
3秒前
Sandrine
完成签到，获得积分
10
3秒前
赘婿
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
4秒前
领导范儿
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
万能图书馆
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
SciGPT
的
应助
被
白白
采纳，获得
10
4秒前
saqi
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
科目三
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
Akim
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4秒前
天天快乐
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
希望天下0贩的0
上传了
应助文件
5秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
森陌夏至
发布了新的
文献求助
10
5秒前
槛外土馒头
完成签到，获得积分
10
5秒前
今后
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
郭雨杰
发布了新的
文献求助
10
5秒前
丘比特
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
今后
上传了
应助文件
5秒前
szcx
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
5秒前
慕青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
Nole
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
香蕉觅云
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
科研通管家
关闭了
ZZQ
的
文献求助
6秒前
科研通管家
关闭了
小不遛w
的
文献求助
6秒前
共享精神
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
充电宝
上传了
应助文件
6秒前
xiuuu
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
CodeCraft
上传了
应助文件
6秒前
SciGPT
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
6秒前
汉堡包
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
zhangjj28
完成签到，获得积分
10
7秒前
共产主义战士
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
医心一意
发布了新的
文献求助
10
7秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
The anomeric effect
1314
Principles of town planning: translating concepts to applications
1000
Navigating Normative Orders. Interdisciplinary Perspectives
800
1 Peter and Christ's Descent to the Dead in Its Early Christian Reception
700
Organizational Behavior
510
Management and the Arts
510
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7736518
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9286234
关于积分的说明
20176809
捐赠科研通
7314561
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3305321
关于科研通互助平台的介绍
2457655
邀请新用户注册赠送积分活动
2314807
今日热心研友
DW
528
5350
cdercder
488
4640
无极微光
289
6020
Nole
276
5600
学术文献互助
4840
然宝
208
1010
aaaa
71
2280
秋风
113
1845
didiwang
66
2220
xing_xing
82
1530
sagitar
47
1730
我能私信骂你吗
116
935
v0id
85
1101
Kao
75
1090
狂野紫丝
69
1020
水煮电吹风
165
2052669099
59
1010
维尼
51
930
昏睡的蟠桃
1380
凶狠的八宝粥
131
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
DW
cdercder
无极微光
Nole
学术文献互助
然宝
aaaa
秋风
didiwang
xing_xing
sagitar
我能私信骂你吗
v0id
Kao
狂野紫丝
水煮电吹风
2052669099
维尼
昏睡的蟠桃
凶狠的八宝粥
皖公网安备34019202002308
