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Effects of bias voltage and substrate temperature on the mechanical properties and oxidation behavior of CrSiN films

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作者
Li-Chun Chang,Ming-Ching Sung,Yung-I Chen
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2021-09-06 卷期号：194: 110580-110580 被引量：25
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2021.110580
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