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作者
Peiyu Wu,
Min-Chen Chen,
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Haimei Zheng,
Fu‐Yuan Jin,
Yung‐Fang Tan,
Yu‐Fa Tu,
Xin-Ying Tsai,
Jen-Wei Huang,
Kuo-Jen Chang,
Guan-Shian Liu,
Tsung‐Ming Tsai
出处
期刊：
Semiconductor Science and Technology
[IOP Publishing]
日期：2021-06-15
卷期号：36 (8): 085005-085005
被引量：3
标识
DOI：10.1088/1361-6641/ac0b9b
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