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Optimization of deposition parameters and performance analysis of Nb-Zr-N composite films

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作者
Jianguo Qian,Fei Zhou,Kangqun Li,Qianzhi Wang,Jizhou Kong,Zhifeng Zhou
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2023-05-19 卷期号：466: 129641-129641 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2023.129641
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