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Physicochemical and structural properties of silica films prepared from perhydropolysilazane using vacuum ultraviolet irradiation
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作者
Yasuhiro Naganuma,
C. Kato,
Toshiyuki Watanabe,
Satoru Kaneko,
Satomi Tanaka
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2024-08-01
卷期号：802: 140453-140453
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2024.140453
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