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High-Power Impulse Magnetron Sputter Deposition of Boron Carbide with Full-Face Erosion Magnetron and Mixed Ar-Ne Plasma
作者
G. V. Taylor,
S. Graiser,
L. B. Bayu Aji,
S. J. Shin,
Daniel C. Goodelman,
Xavier Lepró,
S. O. Kucheyev
出处
期刊：
Fusion Science and Technology
[Informa]
日期：2025-11-10
卷期号：: 1-6
标识
DOI：10.1080/15361055.2025.2560729
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