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Interface Modification Based on the Homoepitaxial MOCVD-MgO Process: Optimizing the Performance of the Flexible Atomic Layer Thermopile Heat Flux Sensor

热电堆金属有机气相外延材料科学接口（物质）光电子学焊剂（冶金）图层（电子）热流密度过程（计算）电子工程纳米技术传热计算机科学复合材料外延光学工程类红外线的物理操作系统冶金热力学毛细管作用毛细管数

作者

Zhenzhe Li,Bowan Tao,Ruipeng Zhao,Kai Yang,Xi Chen,Tian Xie,Meng Zhao,Hongxu Zhu,Yun Chen,Yudong Xia

出处

期刊：IEEE Sensors Journal [IEEE Sensors Council]
日期：2024-12-16 卷期号：25 (3): 4218-4226 被引量：2

标识

DOI：10.1109/jsen.2024.3514660

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