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Comparative study on performance of AlGaN/GaN MS-HEMTs with SiNx, SiOx, and SiNO surface passivation

钝化 跨导 高电子迁移率晶体管 材料科学 光电子学 等离子体增强化学气相沉积 击穿电压 晶体管 氮化镓 泄漏（经济） 化学气相沉积 电压 图层（电子） 电气工程 纳米技术 工程类 宏观经济学 经济
作者
K. Y. Cheng,Shang‐Chi Wu,Chia-Jui Yu,Tongwen Wang,Jyun-Hao Liao,Meng‐Chyi Wu
出处
期刊：Solid-state Electronics [Elsevier BV]
日期：2020-04-24 卷期号：170: 107824-107824 被引量：14
标识
DOI：10.1016/j.sse.2020.107824
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