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Direct bonding of LiNbO3 and SiC wafers at room temperature

材料科学 薄脆饼 空隙（复合材料） 无定形固体 晶片键合 透射电子显微镜 复合材料 氩 纳米 光电子学 直接结合 纳米技术 结晶学 原子物理学 物理 化学
作者
Ryo Takigawa,Jun Utsumi
出处
期刊：Scripta Materialia [Elsevier BV]
日期：2019-09-01 卷期号：174: 58-61 被引量：31
标识
DOI：10.1016/j.scriptamat.2019.08.027
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