发布文献求助
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！

Efficient way of reducing contaminant induced by interactions between EUV photoresist and electron beam in CD-SEM: the route to carryover free SEM metrology

光刻胶 极紫外光刻 计量学 阴极射线 材料科学 电子 扫描电子显微镜 光电子学 电子束光刻 抵抗 梁（结构） 光学 纳米技术 物理 复合材料 核物理学 图层（电子）
作者
Seung Min Park,I. Nir,Seung-Chan Kwak,Woosik Yoo,Hyunwoo Kim,Jae Hee Sung,J. Ham,EunKyeong Jang,G. Lim,Daiyoung Mun,Young-Hyun Choi,Sven Rühle,Abraham Gross,H.-S. Yoon,Benyamin Shargorodski,Yaron Bar,Roi Meir,Yoav Harari,Tal Vol,Yana Branzburg
标识
DOI：10.1117/12.3047636
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
英姑的应助被细心的雪晴采纳，获得10
2秒前
郑总完成签到 ，获得积分10
4秒前
今后的应助被100采纳，获得10
4秒前
6秒前
yu完成签到 ，获得积分10
6秒前
9秒前
Heloise完成签到 ，获得积分10
9秒前
drirshad发布了新的文献求助10
10秒前
libai发布了新的文献求助20
12秒前
Hale完成签到，获得积分0
12秒前
科研小白发布了新的文献求助10
13秒前
悦耳的涫发布了新的文献求助10
14秒前
明理的天抒完成签到 ，获得积分10
14秒前
mrkill511关注了科研通微信公众号
14秒前
lewe完成签到，获得积分10
18秒前
19秒前
木子完成签到 ，获得积分10
19秒前
weiyayayayayaya完成签到，获得积分10
20秒前
喻修杰完成签到，获得积分10
22秒前
23秒前
Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10
23秒前
桐桐的应助被科研通管家采纳，获得10
23秒前
星星亮的应助被科研通管家采纳，获得10
23秒前
23秒前
shhoing的应助被科研通管家采纳，获得10
24秒前
Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10
24秒前
研友_VZG7GZ的应助被科研通管家采纳，获得10
24秒前
Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10
24秒前
Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10
24秒前
今后的应助被科研通管家采纳，获得10
24秒前
lihe完成签到 ，获得积分10
25秒前
清绘完成签到 ，获得积分10
28秒前
28秒前
棉花糖完成签到，获得积分10
28秒前
29秒前
100发布了新的文献求助10
31秒前
星辰大海的应助被闻山采纳，获得10
34秒前
义气的代曼完成签到，获得积分10
34秒前
Li发布了新的文献求助10
34秒前
谨慎的雁菡完成签到 ，获得积分10
35秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1581
Encyclopedia of Agriculture and Food Systems Third Edition 1500
以液相層析串聯質譜法分析糖漿產品中活性雙羰基化合物 / 吳瑋元[撰] = Analysis of reactive dicarbonyl species in syrup products by LC-MS/MS / Wei-Yuan Wu 1000
Lloyd's Register of Shipping's Approach to the Control of Incidents of Brittle Fracture in Ship Structures 800
Biology of the Reptilia. Volume 21. Morphology I. The Skull and Appendicular Locomotor Apparatus of Lepidosauria 600
Pediatric Nutrition 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5548870
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4634324
关于积分的说明 14633762
捐赠科研通 4575675
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2509180
邀请新用户注册赠送积分活动 1485220
关于科研通互助平台的介绍 1456260
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通